智能传感器技术论文(传感器与检测技术论文3000字)

 

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DOI 编码:10. 14016 / j. cnki. 1001-9227. 2022. 08. 007

作者：熊显名 ,王秀秀 ,任星晓

(桂林电子科技大学 电子工程与自动化学院)

摘 要 :由于极高的光学分辨要求 ,导致焦深日益减小 ,为适应十分有限的焦深 ,探索一种可以应用于晶圆检测 设备中的调焦技术 。主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘 法拟合晶圆面型 。采用 Tenengrad 梯度函数和 Sobel 算子提取像素点水平方向和垂直方向的梯度值 ,以此来评判图像 清晰度 ,验证激光位移传感器在晶圆检测工作中调焦得可行性 ,从而提供一种更加通用便捷的工程解决方案。

互联网小常识：综合布线系统分为六个子系统，分别为：工作区子系统、配线（水平）子系统、干线（垂直）子系统、设备间子系统、管理子系统和建筑群子系统。

关键词 :调焦;曲面拟合;晶圆检测;激光位移传感器

互联网小常识：在运行中输入“ntbackup”开启备份使用程序。Windows2003的五种备份方法：副本备份、每日备份、差异备份、增量备份、正常备份。

（来源： 自动化与仪器仪表 2022年第8期）

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互联网小常识：通过控制端口配置需要一台提供超级终端软件的计算机和一根RJ-45到9针或25针异步串行接口的电缆。接口配置阐述为：传输速率9600，数据位8位，停止位1位

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