射频电源(射频电源维修)

Mark wiens

发布时间:2022-12-06

射频电源(射频电源维修)

 

现代的射频电源有了长足发展,由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源,应用也从以前的真空领域扩展到其他领域,半导体、美容等。

那么究竟什么是射频电源呢?

射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域。目前的射频电源广泛应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。

既然射频电源是等离子体配套电源,这里再来介绍一下等离子体。

介质阻挡放电等离子体电源

等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。

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看似神秘的等离子体,其实是宇宙中一种很常见的物质,在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体,它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握利用电场和磁场产生来控制等离子体。例如焊工们用高温等离子体焊接金属。

等离子体可分为两种:高温和低温等离子体。以上提到的是高温等离子体。现在低温等离子体广泛运用于多种生产领域。例如:等离子电视,婴儿尿布表面防水涂层,增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在电脑芯片中的蚀刻运用,让网络时代成为现实。

高温等离子体只有在温度足够高时发生的。太阳和恒星不断地发出这种等离子体,组成了宇宙的99%。低温等离子体是在常温下发生的等离子体(虽然电子的温度很高)。低温等离子体体可以被用于氧化、变性等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。

介绍完等离子体,我们讲一下利用射频电源实现的射频识别技术。其普遍应用的产品有:条形码和摄像两大类。这两类产品目前已广泛应用于人们的日常生活中。比如:条形码用于商品管理,摄像用于抓拍违章车辆等。

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